诸位朋友，大家好！诺联芯在相继发布了一系列长光程的LARK-1L系列红外气体传感器之后，又出品了一款新产品LARK-1M CF4，供氟化工行业、微电子行业、制冷剂行业、医疗行业使用。

1.    CF4是什么？

四氟化碳（CF4），又称为四氟甲烷、Freon-14及R14，是一种卤代烃。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。

CF4的用途包括：

1．用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

2．是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气、小浓度高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

3．用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。

2.    LARK-1M CF4的特点

该传感器是的特点如下：

1.     0 ~ 1000ppm以内，分辨率是1ppm；

2.     线性好，R^2达到0.9999；

3.     响应时间T90时间小于5sec，恢复时间RT90小于10sec；

4.     1小时内，6次重复性，1000ppm处读数极差小于3ppm；

5.     对SF6的交叉灵敏度仅为0.25%左右。

分辨率

 从上面3张图，我们可以看出，从0~1000ppm范围内，该传感器的分辨率都能够做到1ppm，只是在第一分钟内，传感器有一点过冲(Over Shot)。1分钟之后，传感器的读数就相当平稳了，最大也就变化1~2ppm。

线性和精度

从上面两张图，我们可以得到如下结论，从0 ~ 2000ppm范围内，绝对最大误差是24ppm，出现在1800ppm附近，相对误差为23/1800 = 1.3%rel。考虑到质量流量控制器(MFC)的配气误差最大为1%rel，这个1.3%rel的读数误差已经相当不错了。

响应时间

    上表是3只LARK-1M CF4传感器的T90, T97, RT90和RT97的时间。T90和T97时间稍快，均小于5s，但RT90和RT97较慢，均小于8s。究其原因，是因为CF4的分子量比较大，M=88，CF4进入光路取代N2是很快的。N2分子量比较小，M=28，用N2取代CF4是比较慢的。我们可以简单地理解，用质量大的球(CF4)去撞击质量小的球(N2)是很容易撞开的，但用质量小的球(N2)去撞击质量大的球(CF4)是比较难的，需要多撞击几次才能达到撞开的效果，这就带来了RT90和RT97时间的延长。

重复性

上图是6次交替通气N2和1000ppm CF4的重复性实验，每次通气时间为5分钟。通过曲线，我们可以看出，其重复性的绝对值可以控制在3ppm以内。

一小时通气实验

从上图我们能够看出，在1小时之内，读数的极差仅仅是3ppm。

低温和高温实验

    红外传感器比较怕高温的冲击，这是红外传感器的通病。但是，红外传感器有一个优点：即使高温冲击之后，回到常温读数不准了，只要标定零点，那么测量点也就跟着准确起来。因此，今后如果带有LARK-1系列传感器在很高的温度中使用过发现零点漂移了，就可以使用重新标定零点的方法。

交叉灵敏度实验

我们在该传感器中顺序通入从10%vol ~100%vol的SF6，得到该传感器对SF6的交叉响应值大约是0.025%。

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